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晶圓清洗機
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氣瓶櫃
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化學供應系統機櫃(雙 Tank)
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機台型號:WGCDMP01

  
化學供應系統機櫃 (8Tank)
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機台型號:WGCDMP02

  
600L混酸機櫃
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機台型號:WGCDMP03

  
化學液體稀釋機櫃
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機台型號:WGCDMP04

  
廢溶劑回收櫃
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機台型號:WGCDMP05

  
5L預混機櫃
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機台型號:WGCDMP06

  
VMB
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分流閥箱

  
VMB
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